實(shí)驗(yàn)供氣系統(tǒng)使用安全注意事項(xiàng)

1.易1燃易1爆氣體：此類氣體只要形成了可燃?xì)怏w爆1炸混合氣和達(dá)到著火溫度。便會(huì)發(fā)生燃燒爆1炸事故因此在可燃?xì)怏w入口處、氣體鋼瓶存放間、潔凈室

內(nèi)使用可燃?xì)怏w處、敷設(shè)可燃?xì)怏w的管廊或技術(shù)夾層以及可能聚集可燃?xì)怏w的場(chǎng)所均應(yīng)設(shè)置可燃?xì)怏w報(bào)警裝置。具體要求如下：

①可燃?xì)怏w比空氣輕者，報(bào)警裝置設(shè)置在所處場(chǎng)所的頂部。

②可燃?xì)怏w比空氣重者，報(bào)警裝置設(shè)置在所處場(chǎng)所的1低處。

③可燃?xì)怏w的報(bào)警裝置應(yīng)與相應(yīng)的事故排風(fēng)裝置設(shè)電氣連鎖，當(dāng)空氣中的可燃?xì)怏w濃度達(dá)到規(guī)定值時(shí)，事故排風(fēng)裝置自動(dòng)開啟，同時(shí)向潔凈廠房的消防安全值班室發(fā)出報(bào)警信號(hào)。

④為防止倒流回火應(yīng)在用氣設(shè)備的支管上設(shè)置阻火器，在排入大氣的排氣管道上，為防止排氣時(shí)突遇雷電襲1擊阻止火焰蔓延至可燃?xì)怏w管道引發(fā)燃燒爆1炸事故，必須在排氣管道上設(shè)置阻火器。

⑤可燃?xì)怏w在適當(dāng)?shù)墓艿捞帒?yīng)做接地，但接地電阻應(yīng)符合相關(guān)規(guī)定。

⑥各種可燃?xì)怏w管道系統(tǒng)均應(yīng)設(shè)置能引入氮?dú)獾榷栊詺怏w的接口及相應(yīng)的檢測(cè)口，以便在可燃?xì)怏w供應(yīng)系統(tǒng)使用前后或檢修動(dòng)火前后對(duì)其系統(tǒng)進(jìn)行吹掃置換，但是惰性氣體吹掃接口在正常運(yùn)行中不能與氣體鋼瓶或惰性氣體管道相通，以避免影響氣體質(zhì)量。

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氦質(zhì)譜檢漏儀

隨著科技的迅猛發(fā)展，氦質(zhì)譜檢漏儀及其應(yīng)用技術(shù)也在不斷發(fā)展和究善。各國(guó)的設(shè)備廠商相繼推出了多種類烈的氦質(zhì)譜檢漏儀，廣泛應(yīng)用丁航空航天，電力電子，汽車等各個(gè)行業(yè)，綜觀1新氦質(zhì)譜檢漏儀的性能特點(diǎn)發(fā)現(xiàn)，氦質(zhì)譜檢漏儀正向著高靈敏度、自動(dòng)化、寬程、等先進(jìn)方向發(fā)展，這些特點(diǎn)很好地滿足了當(dāng)前檢漏應(yīng)用的需求，也極大地1推動(dòng)了氮質(zhì)譜檢漏技術(shù)的不斷發(fā)展。多種氣體在同一個(gè)環(huán)境下使用，如果有兩種會(huì)發(fā)生燃燒或爆1炸等強(qiáng)烈化學(xué)反應(yīng)的氣體同時(shí)泄漏，就可能對(duì)工作人員以及儀器設(shè)備造成傷害。

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特種氣體使用安全

首先,應(yīng)對(duì)特氣的危害性進(jìn)行分析,通過本質(zhì)安全設(shè)計(jì),消除安全隱患。根據(jù)行業(yè)規(guī)范,對(duì)特氣房選址、安全間距、防火分區(qū)、房間通風(fēng)、電氣防爆等進(jìn)行評(píng)估。管道設(shè)計(jì)應(yīng)進(jìn)行保壓和氦測(cè)漏,確保系統(tǒng)密閉性。鋼瓶和管道閥門應(yīng)選用隔膜或波紋管密封閥門。管道系統(tǒng)應(yīng)采用焊接系統(tǒng),機(jī)械接頭均應(yīng)置于抽風(fēng)罩內(nèi)。電子特氣管道系統(tǒng)氦檢漏檢測(cè)規(guī)定1、氦檢漏儀表應(yīng)采用質(zhì)譜型氦檢測(cè)儀，其檢測(cè)精度不得低于1*10-10mbar*l/s。排放氣體應(yīng)進(jìn)行安全處理。氣體輸送設(shè)備具有緊急切斷功能。操作應(yīng)遵循標(biāo)準(zhǔn)操作規(guī)程。

其次,采用監(jiān)測(cè)手段,預(yù)防事故發(fā)生。設(shè)置氣體泄漏偵測(cè)器,監(jiān)控氣體泄漏?？扇夹詺怏w應(yīng)設(shè)置高溫或火焰?zhèn)蓽y(cè)器。危險(xiǎn)氣體應(yīng)設(shè)置過流開關(guān)。特氣系統(tǒng)氣柜應(yīng)進(jìn)行負(fù)壓監(jiān)測(cè),防止抽風(fēng)系統(tǒng)的失效。艾明坷科技有限公司專業(yè)致力于手套箱、溶劑凈化等行業(yè)技術(shù)服務(wù)，艾明坷竭誠(chéng)為您服務(wù)。偵測(cè)系統(tǒng)應(yīng)與報(bào)警和緊急切斷連鎖。系統(tǒng)還應(yīng)進(jìn)行遠(yuǎn)程監(jiān)控。監(jiān)控系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置不間斷電源。

高純氣體的輸送管路系統(tǒng)

隨著微電子工業(yè)的發(fā)展，超大規(guī)模集成電路制造的硅片尺寸越做越大，要求半導(dǎo)體制造工藝中的氣體品質(zhì)相應(yīng)越來越高，對(duì)氣體中雜質(zhì)和露1點(diǎn)要求極為嚴(yán)格，需要達(dá)到ppb、ppt級(jí)，塵埃粒徑求控制小于0.1～0.05m的微粒，因此對(duì)高純氣體的輸送管路系統(tǒng)提出了非常高的要求 。閥門是管路流體輸送系統(tǒng)中控制部件，用來改變通路斷面和介質(zhì)流動(dòng)方向，具有導(dǎo)流、截止、節(jié)流、止回、分流或溢流卸壓等功能。